Технология производства полупроводниковых интегральных микросхем с помощью фотолитографии за почти полувековой путь развития, отмеченный высочайшими достижениями, в последние годы подходит к рубежу, за которым законы оптики уже не позволяют уменьшать размеры и транзисторов, и соединительных проводниковых дорожек.


( Read more... )