НАНОФАБ! О, как.

[solar_front]

Оригинал взят у 1500py470 в К вопросу о НАНОФАБах
Вот к позавчерашнему обсуждению статьи в Известиях стоит посмотреть на НАНОФАБ 100 от зеленоградской фирмы NT-MDT которая его уже несколько лет поставляет. Работает с пластинами до 100 мм, что в случае использования арсенидов да нитридов галия, и прочей не кремнеевой электроники вполне православно, потому как

Comments

[solar_front]

Дружище. Чтобы сделать 50 чипов на 50 пластинах надо 50 раз почистить пластины, 50 раз загрузить. 50 раз прогнать по одной и той жетехнологической цепочке. И 50 раз (минимум) распилить и померять.

50 раз в камере должны быть одинаковые вакуум, газы, напряжения, температуры и плазмы.

Но тогда вопрос: скажем в ходе одной операции получают пленку на пластине в 1 мкм. Эта пленка появляется везде: на катоде, стенках. через 10 мкм. она начинает отлетать от стен. Теплопроводность, скин эффект ВЧ уже другой - мощность плазмы уже другая и т.д. А температура?! (плачет): она же разная, дружище! если я сделаю один процесс она будет 100 градусов, а Два- под конец 150. А если целый сутки пыхтеть - 350.

Чтобы этого не было у камер есть водяные рубашки, и прочие утеплители, охладители. А чтобы камера была чистая ее делают алюминиевой, а не стальной! Потому, что стальная реагирует с NH3.

Вы видите двойные стенки, утеплители, алюминиевые камеры? А это только про температуру и чистку....

А NH3 это другая безопасность персонала: камеры не ставят посреди комнаты с кучей проводов, а делают спец магистрали - чтобы персонал мог убежать и не споткнуться.

Они может и хотят продать, но я бы не купил ))

[ardelfi]

Я в курсе. Но управление процессами там не ручное, и не краниками, а вон теми шкафами с лампочками. Если критерием оптимизации процесса сделана не скорость, а качество, то что мешает точно устанавливать одинаковые (в пределах допусков) условия для каждой загрузки?

Относительно остального, похоже вы правы. Но это лишь снижает производительность (в разы) -- ничто не мешает чистить после каждой операции. Если другие варианты недоступны, остаётся лишь принять такой. Вы считаете что со всеми чистками за неделю один чип не сделать?

[1500py470]

раньше чтоб получить 10 - 12 работающих хитрых ПЗС или АЦП уходило 200-400 50 мм пластин. И кого это у нас останавливало?! У solar_front тут явный производственный шовинизм, в научно-производственной сфере люди не видили в этом чего-нибудь плохого.

[1500py470]

ЗЫ фиксик видит в этом разорительную статью для страны, хотя некоторые другие знакомы во всём, что делается за рубли вообще ничего страшного не видят.

[solar_front]

Я не вижу никакого разорения. Я просто не люблю когда молоток выдают за микроскоп.

[solar_front]

"шкафами с лампочками".

Не совсем. Там в шкажу стоит десктоп с парой хардов - это управлене. Но сути это не меняет: шкафы не гарантируют температуру подложки. Они ее не меряют. И ребята за столом даже температуру не знают: они думают, что "знают", но это показания термопары в подложкодержателе, а не в стекла на границе с плазмой.

Шкафы не чистят камеры. Шкафам на это наплевать.

"что мешает точно устанавливать одинаковые"
История. история этих камер. Что и как сколько обрабатывалось. Как чистилось, кем. Какая влажность в комнате, кто вчера пил пиво. Обрабатывалось сегодня что? когда?

Я же написал про температуры: вы сели утром в машину и проехзали 3 км. Температура масла 70 градусов. Расход 5.5. л. Взяли в банкомате деньги, покурили и поехали назад. так же. А расход другой: машинка была горяча уже.

А в этих кубиках, судя по виду, о температуре еще не задумывались. Потому, что росло из лабы где аспирант делает один эксперимент в день. И если он гавно, то в дисере просто черточка боксплота смещается на графике. Или аспирант "забудет" этот результат.

"ничто не мешает чистить после каждой операции." "Вы считаете что со всеми чистками за неделю один чип не сделать?"

нельзя.
Вот плазмозимическое травление. Вот, просто "душ" газа поступающего в камеру. Его почистили, камеру течеискателем проверили. Закрыли. Сделали тест. Тест гавно. Потому, что воздух "застрял" в "закрытых" местах и среагировал с силаном дав порошок. Напротив каждой дырки "душа" отметка этого порошка на подложке. Исследователи даже не знают что это. Пару раз сделают тест - порошок "выветриться" - ладно. А это время. И это ОДНА операция и одна деталь камеры. И это опыт после многих лет работы.

Просто взгляните на скорость откачки камеры с отпечатком пальца и без.

Или еще пример: у вас покрыта камера оксидом кремния, почти стеклом. Можно ее не открывать год - всё пыхтит. Но комуто не нравится однородность напыления: камеру открыли на 5 минут - болт подкрутить. Камера хлебнула атмосферы и получила влажность пленка. Стрессы в ней изменились и она стала шелушиться. - Всё, стоп машина: все образцы рябые как леопарды.

И это одна операция в одной камере. А их множество в мультикамерке. И если с аспиранта требуется доказательство, что вот этот транзистор даст такой ток и он помучившись 3 года не получив тока, но много картинок и публикаций защититься, то это не совсем то, что такое ФАБ.

[ardelfi]

Вы приняты на работу. Правда не знаю куда, и кто эти люди, но вы будете их надзирателем начальником. :)

з.ы. Кстати, меня всегда удивляло. Почему не сделать большой зал/ящик, через который медленно течёт аргон (через внешний контур со скраббером), а человеки либо вообще за стенкой, либо в скафандрах. Хотя нечего им делать в этом зале -- в реакторные залы вон никто не лазит пока блок работает на мощности. Чего они там сидят? Трудно этот ноут в другом месте топтать, а кассеты перекладывать роботом?

[solar_front]

я бы с удовольствием, но не надзирателем, а достижителем цели. Это сегодня редкость: то под проект, то под потребителя, то еще под какую хрень чего делают, но не делают главного: чтобы работало. И потом, я к теплу уже привык, хорошим машинам, баварскому. Ежели только Крым или Дагомыс... )) Вот почему нано там не развивать??

С аргоном. Есть конечно и такое. НО всё равно человека надо запускать на отладку, починку, чистку и т.п. А он, гаденыш, потеет, не хочет в противогазе и скафандре за копейки ползать в не дружественной атмосфере. Получается это должен быть крепкий, квалифицированный, готовый к лишениям парень, но без семьи и чувства самосохранения. Редкость.

[ardelfi]

Да и не говорите, сам поражаюсь выбором мест -- в лучшем случае сомнительные (Москва), а иные вообще экстремальные (Новосибирск). Вот есть город Таганрог -- с виду почти Одесса, море почти то же, климат пригодный для жизни, и народа мало. В иных странах там бы случился очередной "gold coast", а в РФ по чудовищному недоразумению он случился посреди горящих болот или кишащей клещами тайги. %)

Человеки не лазят в горячие камеры, где разбирают облучённое топливо. И ничего страшного, всё получается. А если нет радиации, то вполне робота можно запустить, тем более что даже в этой маленькой машине где-то внутри есть робот, как сказано в описании. С плохими привычками нужно бороться.

[solar_front]

"вполне робота можно запустить"

мы говорим о возможности когда не важно сколько это стоит или о производстве с конкретным требованием на план в день-год и затратам?

[ardelfi]

Робот для таких дел стоит порядка 50 килобаксов (аналог глаз и руки, но больше степеней свободы). Если кругом чистый аргон, то лазить в камеры он будет не хуже человека, но без грязи. Если нужно чтобы работал в вакууме, придётся умножить на коэффициент 2~10. В любом случае это не препятствие, а при подсчёте затрат следует помнить что у робота всегда рабочий день, и он не накосячит от скуки, злобы или влюблённости головного мозга.

[solar_front]

Мой комментарий от 19 октября 2016, 14:31:33:

Отладка, чистка, ремонт.
Вот надо достать тоот винтик в дерьме из узкой щели. Робот за 100к справился? И манипулятор потом от говна надо отчистить. А теперь вольтметром или осцилом там подключится, померять. Магниты в магнетроне поменять местами, найти течь воды в том же магнетроне.

Можно конечно и манипулятор найти. Но такой универсальный, чистый и дешевый - нет. Притом, что он должен стоять в углу когда система работет и не работать. Навроде пылесоса за пару лимонов.

[ardelfi]

Справится. Достаточно сформулировать требования, и потом не удивляться если робот не может делать отсутствующие в требованиях операции. Пролазить в щели роботу удобнее -- он может быть сделан нужной формы и размера, в отличие от человеков. Чистить вообще не проблема -- роботы уже работают и в покрасочных камерах, и внутри тушек человека, с одинаковым успехом. Относительно вольтметров, вот с этим строго: если что-то нужно мерять, запиши в ТЗ этот сигнал и выведи контрольную точку для него. Всё остальное тоже не проблема -- вы просто сравните у кого глаза и хваталки лучше для этих дел, и все вопросы исчезнут. Но всё это нужно сформулировать и записать в ТЗ, а если каждый раз вспоминать что-то новое, лучше доверить формулирование и запись в ТЗ специально обученным людям.

[solar_front]

Теоретик.))

[ardelfi]

Это реальность, сэр, которую заказчик создаёт себе сам.

[solar_front]

"Мило".

Я еще раз повторю, что робот должен быть универсальным. Это не трубочки паять экспериментальным. Это работать годами в разных направлениях и не чадить, не пылить при этом.

Эти сказки за 50 тыс робот - это для клуба юных техников.

Простой робот от MANZ навроде:

но с касетами пластин, чисткой головки и т.п. что надо не на выставке, а в произвеодстве. Ежедневном будет стоить более 300 тыс. Это очень узкоспециальный и довольно слабый робот. РОбот который делает обслуживаение (не просто маслице залить, а болты открутить, кольца снять, баночку взять, убрать, ручки почистить и это на разном оборудованиии, с разными ( и не метрическими!) детальками, дырками, резинками), чистки (те которые и пердвидеть еще не получится) будет стоить далеко не 300 и не 3000 тыс.

И пишите себе ТЗ и прочие документы до посинения - дешевле и проще это не станет.