Оригинал взят у
1500py470 в
К вопросу о НАНОФАБахВот к позавчерашнему обсуждению статьи в Известиях стоит посмотреть на
НАНОФАБ 100 от зеленоградской фирмы NT-MDT которая его уже несколько лет поставляет. Работает с пластинами до 100 мм, что в случае использования арсенидов да нитридов галия, и прочей не кремнеевой электроники вполне православно, потому как таких материалов качественных и большого диаметра всё равно никто практически не делает. А если к нему ещё и Мапер или а-ля Мапер прицепить, вообще годная вещь для наплевания на всяческие санкции и барьеры может получится, если идти по пути создания антикремнеевой долины.
Шо скажете за фото?
На фото вижу недокрученное изделие с зачем-то накрученной фольгой даже там, где по идее идет транспорт образца. В тумбе, с права под транспортной камерой,- насосы. Громкие и генерирующие пыль. Но парня нарядили в костюм и даже перчатки.
Радуют безхозно висящие кабелюки и штекеры без соединения. Это НаноФаб!
Возможно, но это Нанофаб без производственгой культуры. Фото видимо сделано: мол, они фсёравно не понимаютдебилы.
Вот фотка тогоже самого, но без фольги:
по идее фоток этого комплекса хватает. Странно, что этот мультикамерный комплекс для фндаментальный исследований преподносится как аж ФАБ!
И щас все санкции - побоку! Шапками закидаем - у нас есть такие приборы, но мы Вам про них не расскажем!
Для сравнения:
Один из институтов в Юлихе. Имеет таких мультикамерных установовк по моей памяти начлаба:
1) 6 -ти камерка вакуумная (Еще Бенекинг строил, первая в 80е). Работает без проблем.
2) На площади 30х30 см. Линия плазмоосаждения.
3) Мультикамерка кластерного типа.
4) Новая линия где и осаждение и распыление плюс динамическое осаждение.
5 ) Кластерная установка на камер 9.
Это один институт. В большом центре, где институтов больше десятка. Каждая мультикамерка стоит миллионы евро.
Почему это не ФАБ и быть им не может:
1) потому, что площади обработки маленькие. Следовательно однородность процесса по одной пластине плохая.
2) Потому, что ФАБ это множество пластин в час. 24 часа. А не когда аспирант зевая пришел к камере с блокнотом. Большой обхем обработки - другие нагрузки на комплектующие, камеры, транспорт, другой уровень воспроизводимости.
3) Камеры надо чистить. И чем больше в них делается - тем больше их надо чистить. В производстве нормальном это делается химически. А это другой уровень безопасности, другие комплектующие, другая геометрия системы.
Поэтому не надо это называть ФАБом. Пожалуйста.