Над чем я сейчас всё больше и больше думаю, как инженер:
3.3.1. Рентгеновская литография
Рентгеновская литография является разновидностью оптической бесконтактной печати, в которой для экспонирования используют «мягкие» рентгеновские лучи длиной волны 0,4 - 12 нм, возбуждаемые с помощью интенсивных электронных лучей. Несмотря на то, что при рентгеновской литографии используется бесконтактная ( Read more... )
Электронная пушка генерирует электронный пучок, фокусируемый на охлаждаемой водой мишени (часто используется палладиевая мишень).
вроде действующие литографы лазером облучают олово для получения излучения, не?
и маску не просвечивают, а отражают лт неё?
как для коллимирования рентгеновских лучей нет ни зеркал, ни линз
так ли это?
Reply
Здесь речь идёт про работы в более перспективной обрасти реальной рентгеновской литографии, чем практически используемая сейчас фотолитография в экстремальном УФ диапазоне 13 нм (в рекламных целях названная "рентгеновская фотолитография").
Reply
а, это теория, а не существующая технология.
Reply
Не совсем теория. Такие технологические линии в опытном варианте существуют, но пока все проблемы там не решены.
Как раз мы со своими компетенциями можем попробовать помочь решить часть технических проблем этой технологии. Более того, в некотором роде я лично стоял у истоков интереса к рентгеновской литографии со стороны тех, кому сейчас в РФ получено эту тематику модерировать. Причём, тогда, когда я этим людям это посоветовал, никаких санкций не было, а все микроэлектронщики дружно делали кристаллы на Тайване, имитируя "импортозамещение". За прошедшие 10-12 лет мои знакомые кучи статей написали, диссертаций назащищали... Нда, но "спасибо" говорят, впрочем.
Я же - практик, т.е. мне нравится получать реальные результаты, а не бумажные отчёты и статьи. Поэтому, каждому своё.
Reply
Такие технологические линии в опытном варианте существуют, но пока все проблемы там не решены.
каком источнике излучения? а остальные агрегаты под ренгеновский процесс есть? хоть что то произвели?
Reply
Там в статье описано. На обычной мощной рентгеновской трубке сейчас. Я же думаю про то, что рентгеновский источник излучения не обязательно должен быть традиционным.
Reply
На обычной мощной рентгеновской трубке сейчас
выглядит слишком просто, что быть реальностью,
так опытная линия что то произвела?
Reply
За границей что-то произвела.
Reply
За границей наша линия? Оксюмирон какой то. Ой вэй...
и что произвели?
Reply
Кстати, в голландском супер-пупер продвинутом литографе на 13 нм есть куча российских НОУ-ХАУ. Например, технологии зеркал и лазерного возбуждения олова. Поэтому, нет ничего удивительного, что и над следующим шагом тоже работают российские учёные, но на западные деньги (как правило копейки) и для западных господ.
Reply
нет ничего удивительного, что и над следующим шагом тоже работают российские учёные, но на западные деньги
это и удивительно
Reply
что тут удивительного? Учёные в России отличались космополитизмом со времён Ломоносова, если не раньше.
Reply
Следующая заметка у меня как раз про наработки конструктивные, про возможность сделать основу маски более прозрачной для рентгена.
Reply
То, про что написано, это - масочная рентгеновская литография контактная, а не проекционная.
Reply
Насчёт зеркал и линз для рентгена, бегала новость, что есть и разработаны
Reply
да, и облучают олово для ультрафиолета, а не ренгена.
Reply
Leave a comment