Дай-то Бог
Думаю, EUV с мишенью на основе ксенона не имеет большого будущего и полезна как промежуточная стадия. А вот использование синхротронного излучения как основного источника при соответствующем уровне химии может иметь достаточно длительную перспективу, чтобы оправдать затраты...
Click to view