Про профилометр.

Mar 28, 2019 18:20

Решил замутить ликбез, а то не дай Бог... ктож тогда-то отстроит Россиюшку, вернет Алясочку с Калифорнией? (пускает слезу)

Доходчиво, но на английском здесь:

image Click to view



В кратце суть такая: как работают проигрыватели грампластинок все знают. Суть таже:
Объект протягивают под иглой. Игла и преобразователь превращают механическую энергию в электрическую. Это ... ВСЁ))

Сигналы передвижения объекта и дрожания иглы (стилуса) с помощью компьютора выводятся на экран. Ось Х это дистанция. Ось У - "дрожание иглы" - подьем и опускание стилуса.

И этот громкоговоритель с компом стоит не менее 30 000 евро.

Вещь не сложная, но повседневно необходимая и микроэлектронике, и в оптике, и в нано.
Как выглядит на экране:


В чем сложности:
1) Передвижение объекта измерения это суть механического стола передвижение (есть профилометры что двигают объект так, что появляется его 3Д картинка поверхности, но не суть). А стол сам трясется. На нем появляется грязь и т.п.
2) объект измерения "вроде" плоский. Стекло или кремниевая пластина. Но после получения на нем пленки подложка уже не "плоская", т.е. еще менее плоская из-за стресса в пленке - ее "крутит".
Что видит оператор? он видит горки и впадины.
3) Нам надо мерять пленку на стекле. Стекло гнется от пленки. Стилусом надо пройти от места с пленкой к месту где нет пленки. Или наоборот. Границы редко бывают четкими. Что видит оператор? - он видит "карпаты" от (1) и все это на огромном "бугре" из-за (2) и пленка на их фоне - мелкая сошка.

Поэтому:

Надо во избежание 1 и 2 мерять на расстоянии 1-2 мм. Но тогда становится в полный рост -3.

Для этого надо делать хорошую обрыв пленки на стелке - чтобы она не плавно снижала толщину.

И вот тогда, дети Вам надо позвонить дяде SF))

Как видим, дело не сложное, требует сноровки. Но эти простые принципы нигде не зафиксированы (я не видел).

РАБОТАЙТЕ БРАТЬЯ.

Личное, технология, оптика, нано, наука

Previous post Next post
Up