Решил замутить ликбез, а то не дай Бог... ктож тогда-то отстроит Россиюшку, вернет Алясочку с Калифорнией? (пускает слезу)
Доходчиво, но на английском здесь:
Click to view
В кратце суть такая: как работают проигрыватели грампластинок все знают. Суть таже:
Объект протягивают под иглой. Игла и преобразователь превращают механическую энергию в электрическую. Это ... ВСЁ))
Сигналы передвижения объекта и дрожания иглы (стилуса) с помощью компьютора выводятся на экран. Ось Х это дистанция. Ось У - "дрожание иглы" - подьем и опускание стилуса.
И этот громкоговоритель с компом стоит не менее 30 000 евро.
Вещь не сложная, но повседневно необходимая и микроэлектронике, и в оптике, и в нано.
Как выглядит на экране:
В чем сложности:
1) Передвижение объекта измерения это суть механического стола передвижение (есть профилометры что двигают объект так, что появляется его 3Д картинка поверхности, но не суть). А стол сам трясется. На нем появляется грязь и т.п.
2) объект измерения "вроде" плоский. Стекло или кремниевая пластина. Но после получения на нем пленки подложка уже не "плоская", т.е. еще менее плоская из-за стресса в пленке - ее "крутит".
Что видит оператор? он видит горки и впадины.
3) Нам надо мерять пленку на стекле. Стекло гнется от пленки. Стилусом надо пройти от места с пленкой к месту где нет пленки. Или наоборот. Границы редко бывают четкими. Что видит оператор? - он видит "карпаты" от (1) и все это на огромном "бугре" из-за (2) и пленка на их фоне - мелкая сошка.
Поэтому:
Надо во избежание 1 и 2 мерять на расстоянии 1-2 мм. Но тогда становится в полный рост -3.
Для этого надо делать хорошую обрыв пленки на стелке - чтобы она не плавно снижала толщину.
И вот тогда, дети Вам надо позвонить дяде SF))
Как видим, дело не сложное, требует сноровки. Но эти простые принципы нигде не зафиксированы (я не видел).
РАБОТАЙТЕ БРАТЬЯ.