Определение вероятности обнаружения дефектов
Необходимость точного определения вероятности обнаружения дефектов заданного размера обусловлена двумя причинами.
Во первых, необходимо гарантировать определённую вероятность обнаружения дефектов на уровне порога обнаружения установки и, тем самым, подтверждать один из её основных параметров, а, во-вторых, необходимо определять обнаружительную способность для дефектов, имеющих размеры, меньшие порога обнаружения. Так например, для установки, имеющей порог обнаружения на уровне 0,25 мкм с вероятностью 0,95, необходимо, с одной стороны, подтвердить эту вероятность для дефектов с размерами 0,25 мкм, а, с другой стороны, определить вероятность обнаружения дефектов с меньшими размерами - 0,20 мкм, 0,15 мкм, которые обнаруживаются, соответственно, с меньшей вероятностью. Определение этих вероятностей является важным потому, что при формировании ведомости дефектов, после завершения автоматического контроля, в неё включаются не только дефекты с заданными размерами, но и дефекты с меньшими размерами, которые, как правило, не являются критичными. При этом дефекты с размерами проекций на координатные оси, меньшими размера пиксела, идентифицируются как дефекты размером один пиксел.
Для уточнения этих размеров используется специальный режим повторного сканирования обнаруженных дефектов с высоким интерполяционным разрешением, который позволяет отфильтровывать некритичные дефекты за счёт получения более точных оценок их размеров. Несмотря на то, что повышение обнаружительной способности оборудования является одной из основных задач на пути его совершенствования, в данном случае это пагубно влияет на характеристики системы, т.к. дефекты, меньшие порога обнаружения, считаются ложными и ухудшают параметр системы, связанный с вероятностью обнаружения ложных дефектов. Количество таких дефектов может оказаться существенным на общем фоне ложных дефектов различных типов.
Снижение количества ложных дефектов является одной из основных целей при создании оборудования для автоматического контроля оригиналов топологии, что определяет актуальность исследований причин появления ложных дефектов и методов определения вероятности их появления.
При определении вероятностей обнаружения дефектов различного размера приходится производить испытания большого объёма, поэтому важным является определение точного числа испытаний, гарантирующего определение этих вероятностей.
Во первых, необходимо гарантировать определённую вероятность обнаружения дефектов на уровне порога обнаружения установки и, тем самым, подтверждать один из её основных параметров, а, во-вторых, необходимо определять обнаружительную способность для дефектов, имеющих размеры, меньшие порога обнаружения. Так например, для установки, имеющей порог обнаружения на уровне 0,25 мкм с вероятностью 0,95, необходимо, с одной стороны, подтвердить эту вероятность для дефектов с размерами 0,25 мкм, а, с другой стороны, определить вероятность обнаружения дефектов с меньшими размерами - 0,20 мкм, 0,15 мкм, которые обнаруживаются, соответственно, с меньшей вероятностью. Определение этих вероятностей является важным потому, что при формировании ведомости дефектов, после завершения автоматического контроля, в неё включаются не только дефекты с заданными размерами, но и дефекты с меньшими размерами, которые, как правило, не являются критичными. При этом дефекты с размерами проекций на координатные оси, меньшими размера пиксела, идентифицируются как дефекты размером один пиксел.
Для уточнения этих размеров используется специальный режим повторного сканирования обнаруженных дефектов с высоким интерполяционным разрешением, который позволяет отфильтровывать некритичные дефекты за счёт получения более точных оценок их размеров. Несмотря на то, что повышение обнаружительной способности оборудования является одной из основных задач на пути его совершенствования, в данном случае это пагубно влияет на характеристики системы, т.к. дефекты, меньшие порога обнаружения, считаются ложными и ухудшают параметр системы, связанный с вероятностью обнаружения ложных дефектов. Количество таких дефектов может оказаться существенным на общем фоне ложных дефектов различных типов.
Снижение количества ложных дефектов является одной из основных целей при создании оборудования для автоматического контроля оригиналов топологии, что определяет актуальность исследований причин появления ложных дефектов и методов определения вероятности их появления.
При определении вероятностей обнаружения дефектов различного размера приходится производить испытания большого объёма, поэтому важным является определение точного числа испытаний, гарантирующего определение этих вероятностей.