МЭМС
alex_avr2 отдал мне для вскрытия деффектный МЭМС гироскоп L3G4200D, тот самый, который стоит в iphone4.
Операция по вскрытию прошла неудачно, т.к. не было ясно где расположенна МЭМС и как вообще устроенны внутренности, вобщем система была сильно поврежеденна, но тем не менне, что-то удалось заснять.
Это центральная часть гироскопа, где соединяются все 4 сектора перфорированной мембраны, движением которой и порождается сигнал гироскопа.
Насколько я понял, конструкция состоит из двух частей: подвижной мембраны и основания, эти две части являются обкладками нескольких миниатютных конденсаторов, изменение емкости которых при колебаниях мембраны порождает сигнал несущий информацию о перегрузках, действующих на датчик.
Где-то под МЕМС видимо распологается и обычная ИМС, которая осуществляет вывод сигнала в цифровом виде.
Вот собственно один из конденсаторов о которм упоминалось выше. Из-за неуклюжего вмешательства в нутро , мембрана поднялась со своего штатного места и обкладки, находящиеся на основании не в фокусе.
А это скан поверхности этого гироскопа, сделанный некими парнями из chipworks , которые берут деньги за снимки топологии кристаллов разных фирм и коментарии к ним, нормально устроились.
Операция по вскрытию прошла неудачно, т.к. не было ясно где расположенна МЭМС и как вообще устроенны внутренности, вобщем система была сильно поврежеденна, но тем не менне, что-то удалось заснять.
Это центральная часть гироскопа, где соединяются все 4 сектора перфорированной мембраны, движением которой и порождается сигнал гироскопа.
Насколько я понял, конструкция состоит из двух частей: подвижной мембраны и основания, эти две части являются обкладками нескольких миниатютных конденсаторов, изменение емкости которых при колебаниях мембраны порождает сигнал несущий информацию о перегрузках, действующих на датчик.
Где-то под МЕМС видимо распологается и обычная ИМС, которая осуществляет вывод сигнала в цифровом виде.
Вот собственно один из конденсаторов о которм упоминалось выше. Из-за неуклюжего вмешательства в нутро , мембрана поднялась со своего штатного места и обкладки, находящиеся на основании не в фокусе.
А это скан поверхности этого гироскопа, сделанный некими парнями из chipworks , которые берут деньги за снимки топологии кристаллов разных фирм и коментарии к ним, нормально устроились.