Первая ЭСЛ ИС у Моторолы в 1962 году.
Так делали 300 серию на Мотороле в 1962 году
Не все предполагают, что ветер подув на свалке может в результате сложить из мусора самолёт, но у нас есть факт, что первая твёрдотельная микросхема которую сделала в 1962 году славная компания Моторола, была не РТЛ как у всех (у них это была уже вторая по счёту 800 серия), а ЭСЛ! Свою деятельность на этом фронте они начали сразу с хардкора. Первые блинчики, а уже на 30 МГц работают :)
Вот так выгледели схемы 300й серии и плата счётчика делителя частоты для передового по тем временам Tektronix230, кстати он до сих пор по две-три тысячи долларов продаётся.
Частота до 30 МГц у первых микросхем, потом довели до 80 МГц